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热点产品:气体质量流量控制器M3090A


热点产品:气体质量流量控制器M3090A,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3090A是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而**地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化,也不会影响其正常的工作。
 
气体质量流量控制器M3090 A产品亮点:
 
-类    型:MFC气体质量流量控制器
-控制范围:10sccm ~20slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分)  
-准度等级: ±1%F.S
-耐     压:≤90bar
-标准接口:0-5VDC,4-20mA可选
-响应时间:≤2sec
-使用范围:2~100%formax range
-供电电源:+15~+28Vdc, 350Ma
-漏      率:1×10-9atm·cc/sec
-气路连接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR
-适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体)
-无需温度、压力补偿
 
气体质量流量控制器M3090A
 
产品型号
M3090V
M3090A
  流量范围(N2)
 10sccm~20slpm
 10sccm~20slpm
  响应时间
 ≤2秒
  ≤2秒
  准确度
  ≤±1%满量程
  ≤±1%满量程
 重复精度
  ≤±0.25% 满量程
 ≤±0.25%满量程
 输出输入信号
 0~5Vdc
  0~5Vdc或4~20毫安
  供电
 +15~+28Vdc,350毫安
  +15~+28Vdc,350毫安
  耐压
  ≤90bar
 ≤90bar
 工作环境温度
  0~50°C
  0~50°C
 
应用领域:
-分析仪器    -干刻(RIE/DRIE)    -燃料电池
-生物技术    -气相色谱分析         -等离子刻蚀
-激光焊机    -混气配气系统         -微反应装置
-真空镀膜    -过程自动化            -石化工业

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