产品详情
  • 产品名称:气体质量流量计MFM2030A

  • 产品型号:MFM2030A
  • 产品厂商:韩国
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简单介绍:
气体质量流量计MFM2030A,控制范围:10sccm ~ 30slpm,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿。气体质量流量计MFM2030A有精度高、响应速度快、重复性好、长期稳定性佳、工作压力范围宽、测量介质适应性广等特点,其操作方便,可任意位置安装调试。
详情介绍:
气体质量流量计M***030A 产品亮点:
 
-    型:MFM气体质量流量计
-控制范围:10sccm ~ 30slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) 
-准度等级: ±1% F.S
-    压:≤90bar
-标准接口:0-5VDC,4-20mA可选
-响应时间:≤2sec
-使用范围:2~100% for max range
-供电电源:+15~+28Vdc, 350Ma
-    率:1×10-9atm·cc/sec
-气路连接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR
-适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体)
-无需温度、压力补偿
 
气体质量流量计M***030A 性能指标:
 
产品型号
M***030V
M***030A
  流量范围 (N2)
10sccm ~ 30slpm
 10sccm ~ 30slpm
  响应时间
 ≤2
  ≤2
  准确度
  ≤±1% 满量程
  ≤±1% 满量程
 重复精度
  ≤±0.25% 满量程
 ≤±0.25% 满量程
 输出输入信号
 0~5Vdc
  0~5Vdc或4~20毫安
  供电
 +15~+28Vdc,350毫安
  +15~+28Vdc,350毫安
 耐压
  ≤90 bar
 ≤90 bar
 工作环境温度
  0~50 °C
  0~50 °C

应用领域:

-分析仪器     -干刻(RIE/DRIE)     -燃料电池
-生物技术     -气相色谱分析         -等离子刻蚀
-激光焊机     -混气配气系统         -微反应装置
-真空镀膜     -过程自动化           -石化工业
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